晶体定向仪是半导体、光学、激光及压电材料领域用于精确测定单晶晶向的关键设备，通过布拉格衍射原理，实现非破坏性、高精度的晶面取向分析。
晶体定向仪性能高度依赖各功能模块的协同精度，以下为核心组成部件的功能特点详解：
一、X射线发生系统
X射线管：常用Cu靶（λ=1.5418）或Cr靶，功率1–2kW，配备水冷或风冷系统，确保长时间运行稳定性；
高压发生器：提供30–50kV管电压与10–40mA管电流，纹波＜0.1%，保障X射线强度恒定；
安全防护：铅腔体+联锁门禁，符合GB18871辐射安全标准，泄漏剂量＜1μSv/h。
二、高精度测角仪系统
θ-2θ联动平台：样品台（θ）与探测器（2θ）按1:2同步旋转，角度分辨率≤0.001°；
空气轴承或精密蜗轮副：消除机械回程间隙，重复定位精度达±0.005°；
自动寻峰算法：通过步进扫描+峰值拟合（如高斯法），快速锁定衍射角2θ。
三、探测与信号处理单元
闪烁计数器或正比计数器：对X射线光子高效转换为电信号，计数率线性范围宽（10–10cps）；
脉冲高度分析器：滤除杂散辐射与电子噪声，提升信噪比；
实时数据采集卡：支持动态扫描与定点测量模式，采样间隔可调（0.01°–1°）。
四、样品装载与校准模块
万向调节样品台：带微调旋钮，可校正样品表面不平或倾斜；
专用夹具库：适配Φ2–6英寸硅片、方棒、圆柱晶体等，确保装夹无应力；
激光辅助对准：红光指示X射线照射中心，提升定位效率。
五、智能控制与分析软件
自动定向程序：输入晶体类型，系统自动调用晶面间距d值，计算理论2θ；
极图/反极图显示：可视化晶向空间分布；
报告生成：输出晶向偏差、FWHM（半高宽）、测试条件，符合SEMI标准。
400-180-9989
当前位置：
电子邮箱：
公司地址：辽宁省丹东市新城区仪器仪表园文庆路70-29号